射频滤波器最主要的指标包括品质因数q和插入损耗。在目前的通讯协议中,不同频带间的频率差越来越小,因此需要非常好选择性,让通带内的信号通过并阻挡通带外的信号。q越大,则滤波器可以实现越窄的通带带宽,也就是说可以实现较好的选择性。
除了品质因数q之外,插入损耗也是重要参数。插入损耗是指通带信号被滤波器的衰减,即信号功率损耗。插入损耗有1db,则信号功率被衰减20%;当插入损耗到达3db时,则信号功率被衰减了50%!在4g时代,信号功率放大并不简单,如果又有许多功率被浪费在滤波器上,则pa/lna设计就更难了。
目前射频滤波器最主流的实现方式是saw和baw。saw是声表面滤波器,利用压电效应。当对晶体施以电压,晶体将发生机械形变,将电能转换为机械能。当这种晶体被机械压缩或展延时,机械能又转换为电能。在晶体结构的两面形成电荷,使电流流过端子和/或形成端子间的电压。在固态材料中,交替的机械形变会产生3,000至12,000米/秒速度的声波。在声表面波滤波器内,声波在表面传播并形成驻波,其品质因数可达数千。
然而,saw滤波器也有自己的局限。saw在1.5ghz以下使用非常合适,但是在工作频率超过1.5ghz时,saw的q值开始下降,到2.5ghz时,saw的选择性已经只能用在一些要求比较低的场合。然而,目前的无线通讯协议已经早就工作大于2.5ghz的频段(例如4g td-lte的band 41)等,这时候saw就不够用了,必须使用体声波(baw)滤波器。
baw滤波器不同于saw滤波器,baw滤波器内的声波垂直传播,贴嵌于石英基板顶、底两侧的金属对声波实施激励,使声波从顶部表面反弹至底部,以形成驻声波。在2.5ghz的频段,baw压电层的厚度必须在几微米量级,因此,要在载体基板上采用薄膜沉积和微机械加工技术实现谐振器结构。
为了把声波的能量局限在滤波器体内,可以使用baw-smr技术或fbar技术。baw-smr技术通过堆叠不同材质的薄层形成一个反射器,而fbar技术则在有冤屈下方蚀刻出空腔以实现悬浮膜。
baw滤波器在高频段可实现低插入损耗和高q值,成为高性能射频系统的首选。然而,baw滤波器的成本目前还很高,这成为了限制baw普及的重要因素。
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